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類別旋乾機 快速升溫 半導體 敦儀 研發 光電 RIE RTA 翻新 SRD

敦儀科技股份有限公司介紹

提供製造發展國內設備產品，整合半導體積體電路、光電、二極體晶圓製造、生產提供旋轉清洗與旋乾設備，並提供代理快速升溫爐RTA,RTP 設備及乾式蝕刻機Plasma Etrcher整合服務。 目前已生產晶圓旋轉清洗及乾燥設備隨多元化需求多數晶片製造廠商仍採用Spin方式減少客戶產值與使用耗損並且增加效率與空間並且合併乾燥製程。 因其穩定性，經濟性及安全性，提供多元化選擇，以方便客戶整合。 主要產品︰ 半導體用垂直式及水平式晶圓藥水清洗蝕刻設備製造、研發、販賣、晶圓甩乾機、製造、研發、販賣、翻修中古設備乾蝕刻及Semitool及VERTEQ 翻新相關機台及販賣。 進口產品︰ 半導體IC及二極體產業用TEGAL、Matrix 、Lam 乾式電漿蝕刻機販賣、快速升溫爐製程應用於退火、回火、合金等產業應用, 各式酸鹼藥水使用晶片承載盒、傳送盒2' , 2.5' ~ 12' 。

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來源為經濟部商業司、財政部財政資訊中心公開資料