近年,在這些規定範圍中保持處理空氣過程,使我們必需承擔資金和運營成本。但是為什麼值得花費這麼多錢用在無塵車間、潔淨室中控制相對溼度呢?道理很簡單!因為相對溼度有一系列可能使潔淨室總體表現下降的因素,其中包括:
1、細菌生長;
2、工作人員感到室溫舒適的範圍;
3、出現靜電荷;
4、金屬腐蝕;
5、水汽冷凝;
6、光刻的退化;
7、吸水性。
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