超純水最初是美國科技界為了研製超純材料(半導體原件材料、納米精細陶瓷材料等)應用蒸餾、去離子化、反滲透技術或其它適當的超臨界精細技術生產出來的水，如今超純水已在生物、醫藥、汽車等領域廣泛應用。這種水中除了水分子(H20)外，幾乎沒有什麼雜質，更沒有細菌、病毒、含氯二噁英等有機物，當然也沒有人體所需的礦物質微量元素，超純水無硬度，口感較甜，又常稱為軟水，可直接飲用，也可煮沸飲用。超純水,是一般工藝很難達到的程度，如水的電阻率大於18MΩ*cm，接近於18.3MΩ*cm則稱為超純水。
方法/步驟
製取要求：
新興的光電材料生產、加工、清洗；LCD液晶顯示屏、PDP等離子顯示屏、高品質燈管映象管、微電子工業、FPC/PCB線路板、電路板、大規模、超大規模積體電路需用大量的高純水、超純水清洗半成品、成品。積體電路的整合度越高，對水質的要求也越高，這也對超純水處理工藝及產品的簡易性、自動化程度、生產的連續性、可持續性等提出了更加嚴格的要求。
工藝種類：
1、離子交換方式
其流程如下：
原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→陽樹脂過濾床→陰樹脂過濾床→陰陽樹脂混床→微孔過濾器→用水點
2、雙級反滲透方式
其流程如下：
原水→原水加壓泵→多介質過濾器→活性炭過濾器→軟水器→精密過濾器→一級反滲透 →PH調節→中間水箱→二級反滲透→純水箱→純水泵→微孔過濾器→用水點
超純水裝置工藝流程：
1.預處理系統→反滲透系統→中間水箱→粗混合床→精混合床→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→精密過濾器→用水物件 （≥18MΩ.CM）(傳統工藝）
2.預處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純化水箱→純水泵→紫外線殺菌器→拋光混床→0.2或0.5μm精密過濾器→用水物件（≥18MΩ.CM）(最新工藝)
3.預處理→一級反滲透→加藥機（PH調節）→中間水箱→第二級反滲透（正電荷反滲膜）→純水箱→純水泵→EDI裝置→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水物件（≥17MΩ.CM）(最新工藝)
4.預處理→反滲透→中間水箱→水泵→EDI裝置→純水箱→純水泵→紫外線殺菌器→0.2或0.5μm精密過濾器→用水物件（≥15MΩ.CM）(最新工藝)
5.預處理系統→反滲透系統→中間水箱→純水泵→粗混合床→精混合床→紫外線殺菌器→精密過濾器→用水物件 （≥15MΩ.CM）(傳統工藝)以上工藝各有各的優勢，你可以根據你自身的情況選購適合你的工藝。隨著科學的發展，很多新的工藝已經替代了舊的工藝，目前用反滲透法制取高純水已經普及，也是最為現今的工藝。
應用領域：
1.電子、電力、電鍍、照明電器、實驗室、食品、造紙、日化、建材、造漆、蓄電池、化驗、生物、製藥、石油、化工、鋼鐵、玻璃等領域。
2.化工工藝用水、化學藥劑、化妝品等用純水。
3.單晶矽、半導體晶片切割製造、半導體晶片、半導體封裝 、引線櫃架、積體電路、液晶顯示器、導電玻璃、映象管、線路板、光通訊、電腦元件 、電容器潔淨產品及各種元器件等生產工藝用純水。
4.食品工業用水:飲用純淨水、礦泉水、資料、啤酒、乳業等。
5.海水、苦鹹水淡化：海島、艦船、高鹽鹼地區生活用水改善。
6.樓宇、社群優質供水:星級賓館、機場、房產物業純水網路系統等。
7.化工行業工藝用水：化工冷卻、化肥、化學藥劑製造。
8.工業產品製造用水：汽車、家電塗裝、塗料、油漆、精細加工清洗等。
9.電力行業鍋爐補給水:熱力、火力發電鍋爐、中、低壓鍋爐動力系統 精細化工、精尖學科用水。