無塵潔淨室內一定潔淨度下氣流速度的確定，隨潔淨室用途等具體情況而異，它不僅受室內發塵量及過濾器效率還受其他因素影響，就工業潔淨室而言，影響潔淨度及選擇氣流速度的因素主要有以下幾個方面。
方法/步驟
室內汙染源：建築物元件、人員數量及操作活動、工藝裝置、工藝材料及工藝加工本身等都是塵粒釋放源，根據具體情況而異，變化很大；
室內氣流流型及分佈：單向流要求均勻、平等的流線，但會受到工藝裝置佈置和位置變動及人員活動情況等的干擾形成區域性渦流；而非單向流要求充混合，避免死角及溫度分層；
自淨時間（恢復時間）的控制要求：潔淨室中事故釋放或帶入汙染物或空氣氣流的中斷或正常操作時的間歇性對流氣流或人及裝置的移動等都會造成潔淨度的惡化，恢復到原來潔淨度的自淨時間決定於氣流速度；對自淨時間的控制要求取決於此時間框架內（惡化的潔淨度下），對產品生產的質量及成品率影響的承受能力；
末級過濾器的效率：在一定的室內發塵量下，可採用較高效率的過濾器以降低氣流速度；為節能應考慮採用較高效率的過濾器，並降低氣流速度，或採用較低效率的過濾器並採用較高的氣流速度，以求流量與阻力的乘積最小；
經濟性考慮：過大的氣流速度造成投資及執行費用的增加，合適的氣流速度為以上諸因素合理的綜合，過大往往不必要，亦不一定有效果；