如果蝕刻機內再有汙垢附著，會引起印製線路板發生開路、短路及銅渣等不良問題。所以，蝕刻槽內的輸送輪及吸水滾輪等裝置要經常清洗，並保持乾淨。如果輸送輪及吸水滾輪每天清洗一次，蝕刻槽及導管部則需每隔一至二週定期清洗一次。這是製造高密度線路板的關鍵。清洗蝕刻機時一定要戴保護工具，並小心使用化學藥品。
1） 氯化銅液蝕刻機的清洗方法：
1、 把蝕刻槽內的蝕刻液全部抽出來，再灌進別的容器內保持（待洗淨機
器後再使用）。
2、 除去蝕刻液槽裡的灰塵和異物。
3、 將水注入蝕刻液槽裡至噴淋泵可以運作，然後加添鹽酸調節濃度為
2-3VOL%。
4、 噴淋攪拌（迴圈）約30min後csgia.net，把洗淨液全部倒出來。
5、 再將水注入蝕刻液槽裡至噴淋泵可以運作，噴淋攪拌（迴圈）約30min
後，把洗淨液全部倒出來。
6、 將3-5Wt%NaOH注入蝕刻液槽裡至噴淋泵可以運作，約30min迴圈
運轉後將它排出，然後再常溫下進行迴圈水洗約10min。
7、 再重複進行（3）及（4）程式。
8、 檢查噴嘴是否出現堵塞情況，清除所有堵塞在內的異物。
9、 輸送輪、吸水滾輪也要經常清洗及保持乾淨。洗不乾淨的滾輪必須更
新。
10、 把在程式（1）中儲存的蝕刻液用10-30µm的過濾孔過濾後再灌回蝕
刻液槽裡。（裝置上儘量安裝有10-30µm的過濾孔的過濾器，並且要經常運轉，這是製造高密度線路板的關鍵。）
11、 開始正常運作。
2） 氯化鐵液蝕刻機的清洗方法：
跟氯化銅液蝕刻機的清洗方法一樣。