3D-MEMS矽電容壓力感測器有什麼特點？?

3D-MEMS矽電容壓力感測器以其特有的高精度、高整合度和超低功耗而聞名於世。

方法/步驟

3D-MEMS矽電容壓力感測器技術的絕對壓力感測器能在正常的條件下達到亞米級別的解析度和1m的精度，可以適合許多新的商用場合。在高解析度應用模式下，該感測器的解析度大於6Pa，這類感測器的功率消耗非常低，而且效能一致性好。