本次分析所選擇的潔淨室，設施面積相差不多，都在40,000到60，000平方英尺之間，並且都有30%到40%的生產窨被不同等級的潔淨室、潔淨室走廊和氣閘佔用。使用相同的方法計算暖通、動力專業設備的生產費用，從而得到花費的詳細統計如表2所示。這種方法統一了暖通、動力專業工程費用，而沒有區分微電子潔淨室、製藥和生物製藥潔淨室。
步驟/方法
換氣次數。花費因素變量：-0。08至0。19
潔淨室內的空氣分配設備（通常是吊頂過濾器）被設計成“噴淋式”，用來提供統一的、潔淨的已過濾的空氣。向房間補給的空氣量，讓人想起與普通的淋浴噴頭相反的消防龍頭。美國聯邦標準209E、日本標準JIS B9920和ISO 標準14644-1的標題是：潔淨室外和相關控制環境——第一部分：清潔空氣的分級。這些標準提供了潔淨室參數、分級和檢測方法的指導方針，但並未說明如何經濟有效地達到要求。這是因為每種生產過程和潔淨室外的要求是不同的，因此，可以採用不同的再循環空氣量，達到預期的環境要求。
至少有五種不同的“可能”設計能夠達到預期的結果，然而只有一種設計是最佳方案。為項目尋找最佳和最經濟的解決方案，是潔淨室外換氣項目的最基本的目標理念。
換氣次數和再循環數量變化對於確定房間的級別是十分重要的。例如，通過300次的換氣次數能夠達到M2級潔淨室的要求，但也可能540次的換氣次數仍不能滿足要求。
房間內汙染物的比率和實際微粒產生情況，是影響潔淨室空氣換氣次數的主要因素。在生產過程中，不對其他因素產生任何影響的情況下，清除微粒的速度是非常重要的。其他可能影響再循環空氣數量的因素是：房間的結構、設備的位置、設備表面溫度、空氣對流、氣流類型（單向通過敏感區或者通過全空間）、操作空間和規章、使用的材料和化學藥品等。
潔淨室可能需要在靜態下進行鑑定，在工況下進行鑑定，對生產過程進行確認或者cGMP認證。由綜合服務管理部制定的聯邦標準209（e），建議100或90fpm。然而有可能建立一個空氣流動速度較低，但比100級潔淨度更高的潔淨室。實際上，已經有潔淨室的空氣流動速度是45cfm/平方英尺。
單向的、紊流的、垂直或水平氣流。
花費因素變量：-0.073至0.18
在許多案例中，單向氣流只在小空間和潔淨室的敏感區域內使用，並且使用微環境。汙染物的源頭可能存在於手套箱、過濾模塊等地方。多數設計為整體單向氣流潔淨室外的方案，只有在這些區域中沒有作業者、生產設備和排風裝置時才能實現單向氣流。垂直或水平氣流的選擇，取決於房間的結構和設備的安放位置，紊流就可以將汙染物帶走。
潔淨室內的架空地板是用來掩蓋工具、設備與動力設備之間的電線、通訊電纜、水電、管道的連接的。後來，為了節約成本，在“bay-and-chase”式的潔淨室結構中，這些架空地板被當作從港灣到夾層的回內通道。在完全單向氣流的潔淨室內，人們希望微粒從工作區域流到帶小孔的地板下。我們已經成功的建立了10級和100級的潔淨室，在這些潔淨室內沒有架空地板，採用牆下部迴風系統，而且潔淨室的氣流被設計成紊流。
另個一種辦法是用薄的空氣噴射裝置隔離超清潔區域，這種空氣噴射的速度是每分鐘500到800英尺。它的功能類似於塑料門簾。
空氣過濾。花費因素變量：-0.032至0.10
採用未端HEPA過濾器對空氣進行過濾，0.3到0.5微米的去除效率為99.99%,0.12微米的去除效率為99.999%;若使用ULPA過濾器，0.12微米的去除效率為99.99995%。
根據潔淨室外的用途，也可以選擇其他的設備，例如，在循環風加新風處理系統中，使用HEPA過濾器用碳吸附或相似功能的合成過濾器處理VOC，靜電過濾箱，等等。
在潔淨室市場上，風機過濾不再是新產品，正確的應用它可以為許多高水平潔淨室提供卓越的、經濟的解決方案，尤其是在吊頂高度有限的建築內。已證明降低成本和減小過濾器的壓降（在潔淨室壽命期內，使用低等級過濾器，長時間採用高壓降方式運轉，所帶來的效益並不總是十分明顯）。
空氣處理器。花費因素變量：-0.07至0.15
新風處理空調箱[Make-up AHU s]。典型的新風處理空調箱（初級AHU s）為循環風空調箱（二級AHU s）提供必需的新風。新風由離心排風機、軸流或plug風機加上過濾器、預熱和再熱用熱水盤管、冷卻和除溼使用的冷凍水盤管、蒸汽和絕熱加溼器等組成。附件和差異包括靜電空氣混合器、蒸汽預熱盤管、超聲波加溼器、鹽水、除溼用的直接交換[Dx]或乙二醇低溫冷凍盤管、VOC吸附過濾器、噪聲衰減器，VFP（變頻）驅動等。
最近12年，M＆I傳熱產品公司成功地研製和生產了非常經濟、可靠的風機系統。這些系統工作起來非常安靜，並且消耗的能源很低，通常比離心式或plug風機系統能耗少20%。
新風處理空調箱通道是將空氣注入集管，再通過支管系統給循環風空調箱提供新風。在初級和二級風管上進行空氣測量，並調節送風機、VFD或進口風閥以便恆定風量。Magnahelic講量器臨測安裝在各個空調箱內HEPA過濾器布袋過濾器和預過濾器的荷載。有吊頂風機過濾器的情況下，新風處理空調箱出來的空氣進入循環風空調箱再送出。
循環風空調箱（Recirculation AHU s）。典型的循環風空調箱由高效離心式風機、過濾器和溼熱（幹）冷盤管組成。附加和差異包括用於局部溫度控制的再熱盤管、用於局部溼度控制的蒸汽或超聲波加溼器、風量恆定控制箱。這種採用Whisper-Air and Compac Space 風機系統的方式提供了一種節約成本和充分使用能源的選擇。
多重循環風空調箱通過送風管，再經過ULPA過濾器或HEPA過濾器，將空氣送入潔淨室，在潔淨度等級為10級和1級的潔淨間的吊頂上，這些過濾器通常是100%覆蓋。垂直單向氣流向下通過潔淨間，穿過帶孔的架空地板磚進入地板下面的迴風空間，再通過垂直迴風夾道向上進入吊頂回風靜壓箱。然後 ，空氣再次進入循環風空調箱，以上的空氣循環再次重複。如果是使用吊頂風機過濾器，在風機過濾器上面的吊頂空間時，可以安裝水或直接交換冷卻[DX-cooled]風機盤管實現表面冷卻。
空氣壓差。花費因素變量：-0.041至0.08
潔淨室增壓是必須的，它的作用是確保潔淨室遠離其臨近區域的汙染，控制有害汙染物的流向，防止不同區域間的交叉汙染，並幫助保持所要求的溫度和溼度水平。
潔淨室與相關走廊、設施內的其他區域的壓差應維持在0.25到0.005英寸水柱（in.w.g.）之間。一般製藥企業所要求的壓差值比這更高，在不同區域之間採用層疊壓差來避免交叉汙染。在不同的區域間安裝一系列的層疊式氣閘和允許空氣快速擴散的正壓門，從而產生壓差。好的微電子潔淨室設計中，通常在潔淨室的入口安裝一個半密封的氣閘來使壓差保持在0.02到0。005in.w.g.之間。更衣間和穿衣間用氣閘分離。入口入的機械風淋相對於它的必要性而言，更是設施文化和潔淨室的原則問題。
許多微電子和光刻潔淨室成功地採用被動氣壓控制，只有在大門全部打開的情況下，入口處的風量維持在每分鐘50到100英尺。一些生物製藥企業要求主動壓差控制，採用補充新風的方式，自動補足通過門洩漏的空氣（當門打開時）。
壓差臨測器用來完成這個任務，例如Henry G.Dietz公司的產品監視器可能被安裝在潔淨室外面，而在潔淨室內有一個LED的顯示器，該顯示器帶有一個聲音報警裝置和兩個指示器，可以表示氣壓的正常與否。這種設備在生物製藥潔淨室中有生物限制要求的區域內通常用來測負壓值，而在電子類潔淨室內，通常用來檢測負壓值，而在電子類潔淨室內，通常用來檢測正壓值。它帶有數字壓差顯示器，顯示的精確度是0.001 in.w.c.,測量壓力值或真空度的範圍是0.5 in.w.c。壓差通過閃亮LED和自動報警裝置來表示。當打開大門時，設備內部有一個可調整的延遲報警時間，用來避免啟動聲音報警裝置。
溫度控制。花費因素變量：-0.0321至 0.15
溫度和溼度的變化能夠引起生產設備的誤差，從而影響生產過程的可重複性，最終導致產品合格率降低、增加浪費。因此，潔淨室對溫度嚴格控制要求是顯而易見的，這項花費是必須的。
通常情況下，要求工程師在設計時降低施工費用，同時要求在很大區域內對溫度進行精確的控制，允許的溫度變化範圍在±4到6華氏度之間（例如使用捲簾門的倉庫）。在沒有硬牆和氣閘裝置時，這將是十分苛刻的要求，並且實際上無法控制溼度的變化。人們通常認為潔淨室外的潔淨度、溫度、溼度和氣壓等項目的層疊性是非常容易達到的，並且很容易維持，但需要仔細的評估這些項目的誤差範圍。
如果對潔淨室內的暖通、動力專業裝置和控制系統有嚴格要求，例如潔淨室的溫度控制要求為正負0.1華氏度所用花費，可能比基準點為70華氏度，±2.0度（即標準要求68到72華氏度）的高出20%到50%。
在每個潔淨室區域內，有局部自動調溫器來控制設計溫度。它能驅動安裝在風管上的局部再熱或再冷盤管工作，來滿足房間內的溼熱的要求。如果使用風機盤管裝置，局部自動調溫器控制本區域內盤管出口空氣的溫度。
溫度控制。花費因素變量：-0.034至0.19
每個潔淨室內的相對溼度，通過局部溼度調節器來進行控制。如果窨內的相對溼度較高，恆溼器通過降低冷凍盤管流出空氣的溫度來加強除溼。同時，再熱盤管提供熱量來保持窨的溫度。任何一個潔淨間的相對溼度超出了設計範圍，局部恆溼器將啟動安裝在風管上的局部溼度調節器。當必須滿足精確的溼度控制時，通常利用空調箱中的新風的絕熱增溼效果來實現，並通過潔淨室的結露點來維持。
溼度水平的局部變動可以通過超聲波溼度調節器進行控制，該調節器位於最終過濾前的風管靜壓箱內。用水水質為RO/DI，水電陰率在3到5mgm之間。如果相對溼度低於設計範圍，恆溼器將啟動溼度調節器來增加新風的水分含量。如果相對溼度較高，恆溼器將降低新風控制冷凍盤管流出空氣的露點溫度，從而加強除溼效果。
排風系統。花費因素變量：-0.031至0.16
典型的工藝排風系統包括：酸、溶劑和VOC、毒性物質、熱和一般的房間排風。如果廢氣中有氨氣出現，一些廠家會選擇使用分開的風管系統和處理系統。使用最多、最普遍的酸消除方法，是水平或垂直氣體洗滌塔。溶劑和VOC的去除通常運用就地或當場高溫破壞的方法。需要認真選擇支隊的方式及必須支隊的廢氣流量。
優質的空氣處理設備能夠將廢氣量降至最低，因此，在實施過程中可降低工程費用和能源浪費。保持排風量增加的潛在需求、擴大生產和安裝這些備用品所需的經濟價值之間的平衡是十分重要的。通常情況下，考慮到潔淨室將來的擴展，當其它動力設備和暖通、動力專業系統（例如新風和冷卻）不能滿足這種擴充的需求時，超大的昂貴的、不鏽鋼襯裡的或FRP排風系統就已經建立了。沒有考慮將來的需求而建立的酸排隊系統也是十分普遍的。增加風量和新的風管支管，，就會使風管系統中的風速超過每分鐘4000英尺。這樣的系統保持平衡是十分困難的或不可能的，並且運行的費用昂貴。
振動和噪聲控制。花費因素變量：-0.027至0.10
設備的大小和重量影響振動的傳播及控制。潔淨室地板下面的“華夫（waffle）”混凝土板層，能夠很好地避免將設備的振動傳送到其他生產區域或度量衡工具上。即使為了安裝管道而在潔淨室的地面上鑽洞，Waffle混凝土板層仍能保持其風性。因為地板的強度在於它的柵格系統，並可進行重新整理。因此可在地板上衝壓額外的孔洞，而不會對振動因素有任何副作用。
所有的暖通、動力專業設備應使用彈簧、軟件接和隔離安裝等隔絕振動的方式，將振動效應降到最低。低噪音的節能風機和馬達，可以用來維持潔淨室NC水平。振動和噪聲方面的專家應是評估小組的成員，他們來領袖用於振動和噪聲方面的專家應是評估小組的成員，他們來核實用於振動和噪聲控制中的機械和建築學原理。完工後的再處理可能是十分昂貴的。如果建築師、暖通、動力專業工程師、業主和顧問從設計的開始就考慮這些因素，可以免去許多潛在的昂貴的檢測，或用更經濟的辦法取代。
磁通量和電磁通量。花費因素變量：0.037至0.15
磁通量被認為是銀河系中海洋微粒背景的流量。銀河系的放置也被認為是自然界的電磁循環。“通量”這個詞代表流量，我們可以認為磁力線就象某種液體流動的路線那樣穿過一個假想的表面。磁場的大小代表流動的速度，它的方向就是流動的方向。磁通量就是流過這個表面的所有的容量。為了更好地理解，我們可以認為磁通量就是穿過這個表面的磁力線的數量。
對於給定的速度，當微粒移動的方向垂直於磁場方向時，磁力是最大的，當與磁場方向平等運動時，磁場力為零。
在大多數基本水平，移動電荷之間的相互作用產生磁力，就象靜電產生於導電電荷與其他導電電荷（不論他們是否運動）之間的相互作用。
通過對行星的拍照研究表明，由於地球的放置和它熔化的金屬內核使得它有一個強大的磁場。磁通量的密度（替代“牛頓的每安培米”）有它自己的單位---特斯拉。地球表面的磁場近似代表值是二分之一高斯，大約是200,000特斯拉。在對公眾開放的區域內，職業安全和健康要求磁場強度不能大於5個高斯。
潔淨室的磁場防護是十分昂貴的。例如，潔淨室使用4到5毫米厚的磁性（鐵--硅）鋼板（M15型）作為屏蔽材料仍不能滿足要求。當前的半導體、度量衡和通訊實驗室區域內要求磁通量的強度限制在0.05高斯或更低。
曾經有一個非常昂貴的潔淨室在建成後不久就關閉了，因為它所在的位置有很高的磁通量。另一個潔淨室失敗因為安的生產地板下面埋了幾英尺的一條高容量的高壓電纜。再一次強調，如果在項目的開始對這些因素進行評估，可能會找到解決措施並且節約時間和成本。事實上，磁場屏蔽的成本也是應該考慮的。
空氣和物體表面的靜電荷。花費因素變量：0.0327至0.12
“靜電”是由於兩個獨立的表面相互接觸而產生的。不同表面產生的電荷，如果不能以足夠快的速度傳導到地面，那麼它們會聚集並散佈在材料的表面----這就是“靜電”。
工業範圍很多區域內殘餘的靜電荷，會造成危險並引發問題。它能引起易燃氣體的燃燒和人體觸電。它能使薄的薄膜和輕纖維粘連、吸附空氣中的塵埃和碎片、損害半導體設備和干擾微電子設備的運行。
關於易燃氣體、水蒸汽和粉塵的危險與兩方面的因素有關，其一是與電容儲存能量相關，涉及到最小起爆能；另一方面是與最小間距的破壞電壓相關，這可以引發著火。
典型的，一般碳氫化合物氣體或空氣混合物的最小起爆能是0.2 毫焦耳，併產生至少幾千伏的擊穿電壓。對於粉塵，最小起爆能是幾毫焦耳。
靜電荷放電引起的震動大約在1毫焦耳時是可以辨別的，當震動在10到100毫焦耳範圍內時很可能使人感覺不舒服。1焦耳以上的能量將引起人體主要肌肉的收縮。當靜電作用力與重力或其他約束力相當時，將產生機械操作難題。這與局部電場的引力有關，因此，絕緣體與表面電荷密度有關。
一般情況下，靜電作用力是微弱的，但是當電荷密度小於幾毫焦耳10-7/㎡時，灰塵就將被吸附在它的表面。人們進行正常的活動時會產生靜電，例如在地毯上行走、從椅子上站起、磨擦衣服的表面等。在溼度較低的環境和廣泛使用人造纖維的環境，產生靜電荷更高。身體電壓可高達到15千伏。
通過帶電織物、帶電體、手持金屬物體等可進行靜電放電。這些靜電放電可能產生高電壓，能夠越過設備外包裝內的幾毫米空隙直接進入內部電路。放電可產生幾安培的電流，使頻率上升到幾百兆赫---特別是金屬導體充當放電源時。
靜電對於半導體設備的危害取決於設備的類型和設計方案。互補金屬氧化物半導體（CMOS）設備和精細幾何結構特別容易受影響。儘管損害很可能與放電能量和電壓有關，但風險的表示方式與“人體模型”放電電壓有關。經驗表明大約在50伏特時，損害的靈敏度降低。微電子系統混亂所產生的問題通常也被表示成與人體模型放電有關。系統必須能經受幾千伏特的電壓（不受控制的環境應在15千伏特以上），因為在正常工作環境中，人們在地板上走動等活動能很輕易的產生高電壓。
為了減少風險，避免潛在的問題，必須確保能夠比產生靜電荷更快的速度將其驅散。對醞標準的手工操作和人體活動，電荷的衰減時間必須是0.25秒或者更少。與風險控制有關的新觀念是，如果靜電荷遇到高電容的某種材料，那麼表面電壓就會降低，於是潛在的問題和損害就可以防範。許多公司已經採取一些措施來預防靜電，例如安裝導電地板或導電的袋子來儲存和傳送零部件。
避免因靜電放電對微電子系統產生影響的最基本的方法是，將設備安放在良好的靜電和磁場屏蔽場所內，恰當減少所有的輸入和輸出連接。
能源和生產費用。花費因素變量：-0.017至0.15
如表2所示，再循環AHU風機和冷卻空氣的DX裝置產生的成本是引人關注的，大約是全部HVAC生產成本的35%。使用最新設計的裝置能夠節約生產成本，例如風機過濾VFD驅動、高效率馬達、帶有冷卻塔的冷卻系統、局部熱水再熱循環、絕熱加溼。
潔淨室的嚴格清潔要求與它固有的高生產成本相關。然而，如果事先計劃好，可以大大降低成本：
l 精確定義潔淨室級別，滿足工藝要求。
l 精確定義潔淨室空氣溫度和溼度，滿足工藝要求。
l 潔淨室外的排風量應滿足工藝的最低要求，一開始就進行排風管理程序。在設計開始，就在所有的排氣支管和工藝設備上提供氣流和壓差的批示儀器。
l 通過確定設備風速的最大值和最小值，來降低風管和管道的壓降，在施工整個過程中貫徹這些指導方針。
l 使用微環境、手套箱、真空室和模塊式圍擋；減少大窨的需求，從而降低生產成本。
l 使用帶VFD（變頻）驅動的高效率馬達。
l 使用補充循環和排風系統來減少壓降並節約空間。
形式和功能。花費因素變量：-0.038至0.16
一般而言，20,000到30,000平方英尺的潔淨室面積需要60,000到90,000平方英尺的建築面積。為了在高度方面有大約10英尺的間隙空間，建築高度必須要在大約21到26英尺。另外應在潔淨室外層上面或下面另有12到16英尺的空間用於安裝暖通、動力專業設備。
為了有最大限度的靈活性，潔淨室內部不應有任何的柱子。屋頂結構應有最小深度，並且能夠隨每平方英尺100至200磅的負荷，以便安裝那些懸掛在上部結構的水管、風管和空氣處理裝置。
通常情況下，間隙空間被用來作為迴風靜壓箱。因此，這些個空間和建築物應用陰燃材料建造。間隙空間，也就是吊頂下面的空間，應該有噴淋裝置。
應嚴格執行現行的國家防火協會（NFPA）法規，連同當地安全法規一起執行。獲得施工許可證（生產許可證）可能是長期的、昂貴的，如果不執行全部建築和防火安全法規將是無效的。同樣的，所有豁免和條款解釋需要有文件證明，並事先通過官方的批准。
潔淨室的外面如果有足夠的窨 用來安裝暖通、動力和工藝設備，例如，冷凍機、熱交換器、泵、DI水設備、儲液槽等，那麼潔淨間可沿著潔淨室的內牆建立。理想的情況是，在設計者和業主確定處理管路溝槽的要求，和對振動敏感的設備的安裝位置以前，潔淨室不應該灌注水泥地板。地下室或次地下室空間對於工藝和動力管道系統、工具和生產設備的電纜分佈、排風和迴風管道系統來講是必需的。
通常需要有非常大的佔有足夠空間電器設備。在這種情況下，必須確認有足夠的動力供應。與半導體和藥品生產相關的高用水量，要求廢話水處理的容量和下水管線足夠大，以便對預其的汙水進行處理。目標永遠是排放最水的廢水。今天，零排放的設備是十分普遍的，它不再是目前發展水平的特點。
一個有經驗的建築師對潔淨室設備輸入能量的設計不能被誇大或忽略。這對於設備的品質和成本效率有巨大的影響。應對高科技設備的功能進行全面瞭解，從而確定是否採用該設備。潔淨室外的細節決定了設備的建築方案，就象速度的要求決定了賽車的大小和形狀。
對設備作用及現在和將來的需求有充分認識的潔淨室建築師，配合合格的潔淨室暖通、動力專業設計工程師、結構和電氣專家和業主組成團隊，是每個成功設計的必需。
微粒。花費因素變量：-0.040至0.15
工藝管道系統。花費因素變量：-0.021至0.20
不應取消這些因素（14和15）對於成本影響的討論，同時，因為這些變量對於每個工廠都是獨特的，最好不要對它進行綜合評論。不過，它們會在內部表格內提及。
潔淨室設施的設計過程是動態的，並具有創造性的。我所說的內容不會一成不變，潔淨室可能發展成與我們今天所瞭解的完全不同的潔淨室。
微環境、屏蔽技術、手套箱和自動控制已經改變了潔淨室的外觀和運行。但是，與今天的潔淨室在幾十年前還是聞所未聞一樣，明天生產設備的技術將勿庸置疑地向我們展現出非凡的驚喜，並向我們今天的所有發出挑戰。
注意事項
利用以上十五個成本因素變量，提供可供選擇的設計方案動態數據庫，對基本的潔淨室設計和標準進行改進，儘量滿足工廠的需求，通過這些方法我們應能夠減少項目的工程費用。