真空法是壓差法中最具代表性的一種測試方法，在真空法的整個測試過程中，測試氣體在試樣中的擴散是單向單質的，因此可以視為自擴散，利用Fick定律就可以對整個擴散過程進行描述。
工具/原料
服裝
方法/步驟
1. 對於測試氣體沒有選擇性，可以進行對氧氣、二氧化碳、氮氣、空氣等常見無機氣體的檢測。
2. 測試過程中測試氣體使用量很少，裝置結構中幾乎沒有消耗型元器件，因此測試成本很低。
3. 測試理論成熟，在學術界用菲克定律等經典滲透理論有完善的解釋，通過試驗可以得到被測材料的本質性引數，即溶解度係數、擴散係數、滲透係數。通用性強，無需特殊約定，因此是科研院校、質檢機構的首選。
4. 試驗效率高。由於在進入正式試驗之前有一段抽真空的時間，並且要求測試腔達到一定的真空度，因此倘若在試樣裝夾過程中出現失誤會在抽真空時被發現，操作人員可以及時更換試樣重新試驗，大大縮短無效試驗時間。
注意事項
由於膜技術理論的支援，真空法在透氣性測試中一直作為基礎方法使用，是國際上通用性最強的測試方法，國際上制訂的真空法透氣性測試標準也是最多的，它常作為第一法被採用。