交大藍天解讀:晶體硅太陽能電池的製造工藝流程?

晶體硅太陽能電池的製造工藝流程說明,

由此可見,太陽能電池芯片的製造採用的工藝方法與半導體器件基本相同,生產的工藝設備也基本相同;“硅”是我們這個星球上儲藏最豐量的材料之一。自從19世紀科學家們發現了晶體硅的半導體特性後,它幾乎改變了一切,甚至人類的思維。20世紀末,我們的生活中處處可見“硅”的身影和作用,晶體硅太陽能電池是近15年來形成產業化最快的。

交大藍天解讀:晶體硅太陽能電池的製造工藝流程

方法/步驟

切片:採用多線切割,將硅棒切割成正方形的硅片

交大藍天解讀:晶體硅太陽能電池的製造工藝流程

清洗:用常規的硅片清洗方法清洗,然後用酸(或鹼)溶液將硅片表面切割損傷層除去30-50um

製備絨面:用鹼溶液對硅片進行各向異性腐蝕在硅片表面製備絨面

磷擴散:採用塗布源(或液態源,或固態氮化磷片狀源)進行擴散,製成PN+結,結深一般為0.3-0.5um

周邊刻蝕:擴散時在硅片周邊表面形成的擴散層,會使電池上下電極短路,用掩蔽溼法腐蝕或等離子幹法腐蝕去除周邊擴散層

去除背面PN+結。常用溼法腐蝕或磨片法除去背面PN+結

製作上下電極:用真空蒸鍍、化學鍍鎳或鋁漿印刷燒結等工藝。先製作下電極,然後製作上電極。鋁漿印刷是大量採用的工藝方法

製作減反射膜:為了減少入反射損失,要在硅片表面上覆蓋一層減反射膜。製作減反射膜的材料有MgF2 ,SiO2 ,Al2O3 ,SiO ,Si3N4 ,TiO2 ,Ta2O5等。工藝方法可用真空鍍膜法、離子鍍膜法,濺射法、印刷法、PECVD法或噴塗法等

燒結:將電池芯片燒結於鎳或銅的底板上

測試分檔:按規定參數規範,測試分類

交大藍天解讀:晶體硅太陽能電池的製造工藝流程

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