砷化鎵是一種感光效能比當前廣泛使用的矽更優良的材料。理論上他將接收到的陽光40%的轉化為電能,轉化率約是矽的2倍,因此衛星和太空飛船等多采用砷化鎵作為太陽能電磁板的材料。然而,超聲波清洗器傳統的砷化鎵晶片製造技術每次只能生成一層晶片,成本居高不下,限制了砷化鎵的廣泛應用。砷化鎵晶片在清洗工藝上的要求,是希望能夠達到對晶片表面上殘留的鎵氧化物、砷氧化物和一些對後續工藝有害的金屬、汙垢、油汙、雜質、蠟點、塵埃、髒點等。在清洗上存在的難題,可以採用超聲波清洗機能夠達到理想的清洗效果。
工具/原料
一臺VGT-103PT專用威固特砷化鎵超聲波清洗機
需要清洗的砷化鎵晶片
用到水、清洗劑
方法/步驟
砷化鎵清洗機裝置採用RCA清洗工藝,根據客戶不同要求,設計製作而成
機體由機臺、操作檯面、管路、清洗槽體、保溫裝置,藥液溫度控制系統,排風系統、機臺照明、電氣控制系統等組成
整機由耐腐蝕材料製作而成,適應在一定的腐蝕環境下工作
PLC控制器控制,觸控式螢幕面板位於裝置前上部,以便於操作
安全保障:配置聲光提示、報警功能
注意事項
非專業人士請勿單獨操作裝置
換液或排液時,應在槽中清洗液為常溫的情況下進行,且一定要關機並抽掉電源線
如有異物落入槽底應立即取出